什么是“凈化車(chē)間”呢?
凈化車(chē)間也叫無(wú)塵車(chē)間、潔凈室、無(wú)塵室;是指將一定空間范圍之內(nèi)的空氣中的微粒子、有害氣體、細(xì)菌等之污物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍之內(nèi),給予特別之設(shè)計(jì)的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒(méi)有凈化車(chē)間,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。那么凈化車(chē)間是由哪幾部分組呢?
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# 凈化車(chē)間共有五部分組成
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隔間
凈化車(chē)間隔間分為三大部分,更衣室,千級(jí)區(qū)和百級(jí)區(qū),更衣室與千級(jí)區(qū),千級(jí)區(qū)和百級(jí)區(qū)均設(shè)風(fēng)淋室(airshower),凈化車(chē)間與室外設(shè)有物品出入通道傳遞箱(passbox,當(dāng)人員進(jìn)入凈化車(chē)間時(shí),首先要經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室,對(duì)人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入凈化車(chē)間的灰塵,傳遞箱則是對(duì)物品灰塵進(jìn)行吹淋,達(dá)到落塵的效果。
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風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)系統(tǒng)流程圖
系統(tǒng)采用的是全新風(fēng)空調(diào)箱+FFU 系統(tǒng):
<1>全新風(fēng)空調(diào)箱結(jié)構(gòu)
<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即風(fēng)機(jī)和過(guò)濾器
千級(jí)區(qū)過(guò)濾器采用HEPA,過(guò)濾效率99.997%,百級(jí)區(qū)過(guò)濾器采用ULPA,過(guò)濾效率99.9995%。
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水系統(tǒng)水系統(tǒng)流程圖
冰水系統(tǒng)分為一次側(cè)和二次側(cè)。一次側(cè)冰水水溫7-12 度,供給空調(diào)箱和風(fēng)機(jī)盤(pán)管,二次側(cè)冰水12-17度供給干盤(pán)管系統(tǒng),一次側(cè)冰水和二次冰水為兩個(gè)不同的回路,之間由板式換熱器連接。
板式換熱器原理:
干盤(pán)管:不結(jié)露的盤(pán)管,因凈化車(chē)間溫度在22 度,其露點(diǎn)溫度12 度左右,故7 度冰水不能直接進(jìn)入凈化車(chē)間,所以進(jìn)干盤(pán)管的冰水溫度在12-14 度。
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控制系統(tǒng)(DDC)溫度:干盤(pán)管系統(tǒng)控制
濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過(guò)感測(cè)的信號(hào),控制三通閥開(kāi)度來(lái)調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤(pán)管進(jìn)水量。
正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測(cè)的信號(hào),自動(dòng)調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量。
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其他系統(tǒng)
不只是空調(diào)系統(tǒng),凈化車(chē)間系統(tǒng)中還包括有真空、空壓、氮?dú)?、純水、廢水、二氧化碳系統(tǒng)、制程排氣系統(tǒng),檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn):
1、氣流速度及其均勻度檢測(cè),這項(xiàng)檢測(cè)是凈化車(chē)間效果的其他各項(xiàng)檢測(cè)的前提,這項(xiàng)檢測(cè)的目的是為了明確單向流凈化車(chē)間工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。
2、系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測(cè)。
3、室內(nèi)潔凈度的檢測(cè)。潔凈度的檢測(cè)是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空氣潔凈度級(jí)別,可采用粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)。
4、自?xún)魰r(shí)間的檢測(cè)。通過(guò)確定自?xún)魰r(shí)間,查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時(shí)恢復(fù)其原有潔凈度的能力。
5、氣流流型檢測(cè)。
6、噪聲的檢測(cè)。
7、照度的檢測(cè)。照度檢測(cè)的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
8、振動(dòng)的檢測(cè)。振動(dòng)檢測(cè)的目的是為了判明凈化車(chē)間各表明的振動(dòng)幅度。
9、溫、濕度的檢測(cè)。溫、濕度檢測(cè)的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測(cè)凈化車(chē)間的送風(fēng)溫度,檢測(cè)有代表性測(cè)點(diǎn)的空氣溫度,檢測(cè)凈化車(chē)間中心點(diǎn)的空氣溫度,檢測(cè)敏感元件處的空氣度,檢測(cè)室內(nèi)空氣相對(duì)溫度,檢測(cè)回風(fēng)溫度。
10、總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測(cè)。
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# 什么是凈化車(chē)間(Clean Room)
用通俗易懂的語(yǔ)言來(lái)描述的話,凈化車(chē)間就是在某個(gè)空間的空氣中塵埃、微粒子控制在一定數(shù)值以下,把壓力、溫度、濕度、氣流分布及其形狀和速度控制在一定范圍內(nèi)為目的而建造的屋子。
什么是潔凈度(Class):就是指單位體積( 通常是立方英尺) 的空氣中含有大于、等于0.5μm 直徑的塵粒的數(shù)量,也稱(chēng)為無(wú)塵度。
什么是塵粒?
塵粒是微小的灰塵、懸浮的東西。塵粒越小,其表面積的比例相對(duì)增加,并不遵從牛頓定律運(yùn)動(dòng),按重力垂落。而是在空氣中做不規(guī)則的運(yùn)動(dòng),這種運(yùn)動(dòng)叫布朗運(yùn)動(dòng)。因是懸浮的東西,而且做不規(guī)則的運(yùn)動(dòng),在潔凈化技術(shù)、產(chǎn)品制造中是令人頭痛的代表物。總之,塵粒會(huì)對(duì)產(chǎn)品成品率高低影響至關(guān)重要。如:電腐蝕現(xiàn)象。
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