光學無塵車間介紹
摘要：
超凈無塵凈化車間目前主要應用與工業半導體，電子行業等，微電子超凈無塵車間的設計理念比較其他行業要求較高。下面簡要介紹光學凈化車間的設計要求：
一、光學微電子超凈無塵車間平面布局要求
1. 凈化車間潔凈生產區：潔凈等級設置為百級、千級或萬級
2. 無塵生產輔助用房：潔凈等級設置為萬級、十萬級，一般包括人流進出潔凈用房，物料進出清潔區和部分車間辦公生活區等。
3. 超凈凈化車間管理區：潔凈等級設置為十萬級或三十萬級，一般包括辦公室、會議室、值班室和休息區。
4. 車間生產專用設備區：該區域對空氣凈化等級沒有要求，但要求與凈化車間設置有效的物理或空氣隔離，本區域主要設置凈化空調機房、電氣用房、純水間、生產用氣間。
二、光學微電子超凈無塵車間裝修要求
1. 車間吊頂材料：采用FFU盲板或選用防火彩鋼板，吊頂內須可上人，對承重要進行詳細技術。
2. 車間墻體裝修材料：采用防火彩鋼板，彩鋼板厚度為50mm，可以盡量有效的適用場地的占地面積，該彩鋼板在安裝時需要進行接地處理，以到達排放靜電的功能。
3. 車間地面裝修：一般選用環氧自流平或PVC卷材，但無塵車間內須對上述兩種材料進行抗靜電處理。
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